ひと目でわかる
半導体業界MAP
半導体のサプライチェーンは幅広く、完成するまでにはさまざまな企業が関わっています。
このページでは、半導体の製造工程に沿って企業を紹介。材料から製造装置、半導体メーカーまで、各企業の役割や立ち位置を把握できます。
（2025年5月1日現在の情報です）
（2025年5月1日現在の情報です）
半導体製造装置
マスク製造工程
| 作業工程 | 装置名 | 主要メーカー |
|---|---|---|
| 01 回路・パターン設計 | ||
| 02 フォトマスク作成 | マスク描画装置 | ニューフレアテクノロジー 日本電子 |
| 03 フォトマスク検査 | マスク検査装置 | KLA（米） レーザーテック |
ウェーハ製造工程
| 作業工程 | 装置名 | 主要メーカー |
|---|---|---|
| 01 シリコンインゴット製造切断 | ワイヤソー | トーヨーエイテック |
| 02 ウェーハの研磨 | ラッピング・ポリッシング装置 | 岡本工作機械製作所 スピードファム 不二越機械工業 |
| 03 ウェーハの検査 |
前工程
| 作業工程 | 装置名 | 主要メーカー |
|---|---|---|
| 01 ウェーハ表面の酸化 | 熱処理装置 | KOKUSAI ELECTRIC 東横化学 東京エレクトロン |
| 02 薄膜形成 | 薄膜形成装置(CVD装置) | Applied Materials（米） Lam Research（米） 東京エレクトロン |
| 03 フォトレジスト塗布 | コータデベロッパー(レジスト塗布現像装置) | SCREENセミコンダクターソリューションズ 東京エレクトロン |
| 04 露光・現像 | 露光装置 | ASML（蘭） キヤノン ニコン |
| 05 エッチング | エッチング装置 | Applied Materials（米） Lam Research（米） 東京エレクトロン |
| 06 レジスト剥離・洗浄 | 洗浄装置 | SCREENセミコンダクターソリューションズ 芝浦メカトロニクス 東京エレクトロン |
| 07 イオン注入 | イオン注入装置 | Applied Materials（米） 住友重機械イオンテクノロジー 日新イオン機器 |
| 08 平坦化 | CMP装置 | Applied Materials（米） 荏原製作所 |
| 09 電極形成 | スパッタリング装置 | Applied Materials（米） アルバック |
| 10 ウェーハ検査 | ウェーハ検査装置（プローブ） | 東京エレクトロン 東京精密 日本マイクロニクス |
後工程
半導体材料
部品・コンポーネント（サブシステム）
工場設備
| 工場設備名 | 主要メーカー |
|---|---|
| 配管システム | |
| 配電 | |
| 液体窒素配給 | |
| 超純水配給 | |
| 搬送装置 | ダイフク ローツェ 村田機械 |
| クリン環境モニター | |
| 排ガス処理設備 | Edwards Vacuum（英） カンケンテクノ |
| 排水処理 |